1、旋片式真空泵
轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵多為中小型泵，產品已經系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數是單工作腔結構，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應用。
2、滑閥式真空泵
在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。
3、定片式真空泵
在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變容積。定片式真空泵抽速較小，有單級、雙級之分，雙級泵的極限真空可達10-1Pa。泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經很少生產和應用。
4、余擺線式真空泵
在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。泵的動平衡性好，所以泵運轉較平穩(wěn)、振動亦小，轉速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發(fā)展為大抽速的機械真空泵。由于吸氣管路短而粗，有利于提高低壓力下的抽速。因此，在低壓范圍內（1～l00Pa）余擺線泵的抽速特性曲線優(yōu)于滑閥泵。余擺線泵的轉子和泵體是一對共軛齒形副的嚙合運動，所以對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。余擺線泵適應較高溫度的工作環(huán)境，可以通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度（即成為余擺線熱泵），用來抽除大量的可凝性水蒸汽。